由中國科學院所屬公司和海外技術專家于2010年4月28日組建的高新技術企業(yè)，兩次承擔國家科技重大專項。公司致力于研究和生產世界領先的極大規(guī)模集成電路行業(yè)專用薄膜設備，矢志成為納米級薄膜制造技術解決方案的領導者。
公司座落于沈陽國家級高新技術產業(yè)區(qū)——渾南新區(qū)，是國內唯一能夠生產適用于大規(guī)模集成電路生產線的PECVD設備供應商，現已形成2-12英寸PECVD設備、12英寸ALD設備、OLED薄膜設備的三個完整系列產品，廣泛應用于集成電路、先進封裝TSV、光波導、LED、OLED顯示等高端技術領域。
　　公司遵循國際化企業(yè)運營模式，結合了海外專家和優(yōu)秀的國內人才。公司現有海外專家7人，其中國家千人計劃專家3人，員工人數達到230人，研發(fā)人員占81%, 申請專利300余項。

　　公司矢志成為國際水平的薄膜制造企業(yè)，愿與業(yè)界伙伴建立真誠、友好、共贏的產業(yè)合作聯盟，為中國及世界半導體產業(yè)的發(fā)展做出貢獻。